汇专超声方案加工半导体石英玻璃基板实现质量效率双提升 科技

汇专超声方案加工半导体石英玻璃基板实现质量效率双提升

光掩膜,又称光罩、掩膜版、光刻掩膜版,主要由基板与遮光膜组成,是光刻工艺所使用的图形母版,堪称芯片制造的“底片”。如果将晶圆制造比作一座超高层建筑的施工过程,光掩膜就是那张承载着全部建筑细节的施工图纸......